بررسی بهبود اندوکتانس و ضریب کیفیت ساخت سلف مجتمع در لایه های مختلف فلز در یک تکنولوژی مدارهای مجتمع استاندارد با زیر لایه سیلیکون
- سال انتشار: 1387
- محل انتشار: یازدهمین کنفرانس دانشجویی مهندسی برق ایران
- کد COI اختصاصی: ISCEE11_199
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2817
نویسندگان
موسسه آموزش عالی سجاد
موسسه آموزش عالی سجاد
موسسه آموزش عالی سجاد
چکیده
هدف از این مقاله بررسی ساخت سلف در لایه های مختلف فلزی در تکنولوژی های متداول ساخت مدارهای مجتمع به منظور رسیدن به کیفیت بالاتر می باشد. نتایج شبیه سازی با استفاد ه از شبیه ساز الکترومغناطیسی SONNET در این مقاله نشان داد که هرچه برای ساخت از لایه های فلز بالاتر استفاده شود به دلیل دور شدن سلف از زیر لایه پر تلفات ضریب و کاهش خازن پارازیتی بین سلف و زیر لایه کیفیت سلف بهبود پیدا می کند و فرکانس خود تشدید سلف نیز افزایش می یابد.کلیدواژه ها
سلف اسپیرال ، ضریب کیفیت ، فرکانس خود تشدید ، مدارهای مجتمعمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.