A study of piezoelectric properties of ZnO, AlN and PZT for sensing and actuating in MEMS devices
- سال انتشار: 1394
- محل انتشار: سومین کنفرانس ملی و اولین کنفرانس بین المللی پژوهش هایی کاربردی در مهندسی برق، مکانیک و مکاترونیک
- کد COI اختصاصی: ELEMECHCONF03_0216
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 783
نویسندگان
Ph.D. Candidate, Memorial University, Newfoundland, Canada
Bachelor student, Sahand University of Technology, Tabriz, Iran
چکیده
This paper reports three different piezoelectric materials, ZnO, AlN and PZT, which are used widely in MEMS as sensors and actuators. The electrical and mechanical properties of each are also reported. The prestige equation used for estimating peak output voltage with piezoelectric materials demonstrated the generated voltage by ZnO is 41.21 % larger than AlN voltage. PZT is able to generate quit high peak output voltage (97.21%) in comparing with ZnO and AlN due to the large electromechanical coupling. Also, the stable temperature response of PZT is also presented. Based on this analysis during this study one could conclude that PZT is the superior material and is the best option for actuating and sensing aims with high energy conversion efficiency.کلیدواژه ها
Piezoelectric, Electromechanical coupling, Sensors, Actuators, MEMSمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.