شبیهسازی راکتورهایCVD جهت تولید رسوب گالیم- آرسنیک GA-AS با استفاده از دینامیک سیالات محاسباتی

  • سال انتشار: 1394
  • محل انتشار: سومین کنفرانس بین المللی نفت، گاز و پتروشیمی
  • کد COI اختصاصی: ICOGPP03_201
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 725
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

مریم ترک زاد

دانشجوی کارشناسی مهندسی شیمی، دانشگاه اردکان

مصیب زمان

استاد گروه مهندسی شیمی، دانشگاه اردکان

چکیده

در این تحقیق، راکتورهای رسوب گذار بخارات شیمیاییCVD (Chemical Vapor Depositionبرای تهیه نانو ساختارهای نیمه رسانا گالیم - آرسنیکGA-As با استفاده از نرم افزار فلوئنت Fluent مدلسازی شده است. رسوب شیمیایی فاز بخارCVD برای رسوب فیلمهای جامد در حالت گازی روی یک سطح جامد دیگر، استفاده میشود. مواد اولیه انتخاب شده برای انجام این فرایند،گازهای تری متیل گالیم و آرسین بوده و یک مکانیسم واکنش دو مرحلهای برای تشکیل گالیم پیشنهاد شده است. نتایج مدلسازی نشان میدهد که سرعت رشد گالیم - آرسنیک به دمای دیسک گردان و سرعت چرخش زاویهای آن و همچنین به میزان آرسنیکاولیه بستگی دارد. توزیع وزن مولکولی نسبتا بالا در مرکز دیسک گردان نشان میدهد که رسوب در مرکز دیسک بیشتر از سایر نقاط است. با توجه به اهمیت اعداد بدون بعد در طراحی راکتور، توزیع اعداد رینولدز و پرانتل در این گزارش نشان داده شد که بیان میکند سرعت و حرارت هر دو عوامل اصلی در شکل گیری رسوب هستند

کلیدواژه ها

رسوب گذاری بخارات شیمیایی، راکتور، فلوئنت، گالیم -آرسنیک GA-As/نیمه رسانا

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.