استفاده از Floating Gate MOSFET بعنوان سنسور تشخیص گازها
- سال انتشار: 1394
- محل انتشار: دومین کنفرانس ملی توسعه دانش بنیان صنایع نفت، گاز و پتروشیمی و ششمین کنفرانس روز مهندسی پتروشیمی بندر امام
- کد COI اختصاصی: KBDC02_168
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 754
نویسندگان
پتروشیمی بندرامام، شرکت خوارزمی، ابزاردقیق
چکیده
در این مقاله از FG-MOSFET که در مجاورت گیت آن واکنش شیمیایی بین گاز و اکسید فلز رخ می دهد بعنوان سنسور گاز استفاده می شود. هرچه غلظت مولکولهای گاز در مجاورت گیت ترانزیستور ماسفت بیشتر باشند، الکترونهای بیشتری در سطح گیتجذب شده و جریان تحریک بیشتر می شود. جهت ساخت این سنسور الکترونیکی که در رده سنسورهای نیمه هادی الکتروشیمی قرار می گیرد، از تکنولوژی CMOS استفاده شده و مدارات بایاس، کنترلی و پردازش سیگنال روی همان پایه نیمه هادی )سلیسیم(که ماسفت حساس به گاز قرار دارد ساخته شده است. چون واکنش شیمیایی گاز مورد سنجش با اکسیدفلز در گیت ماسفت نیاز بهحرارت بالاتر از 222 دارد، از یک میکروهیتر که با ولتاژ بایاس CMOS حرارات بالا و کنترل شده ایجاد کند استفاده شده است. این میکروهیتر و عایق حرارتی جهت تضمین دمای اتاق برای کارکردسایر مدارات توسط تکنولوژی MEMS ساخته شده است. این سنسور با استفاده از تکنولوژی MEMS همراه با تکنولوژی استاندارد CMOS رده و کلاسی جدید و مدرن از سنسورهای گازیالکترونیک است. جهت تحلیل رفتار ، بایاس و کالیبره این ماسفت گیت شناور، ابتدا یک سنسور مقاومتی نیمه هادی با استفاده از لایه 3O2Fe سری با گیت یک ماسفت معمولی معادل با -FGMOSFET در مجاورت غلظت های مختلف : صفر، 250 و 500ppm گاز پروپان در حضور رطوبت 02 درصد استفاده شده و تغییر ولتاژ در لایه حساس بترتیب برابر با -2.82v و -4.33v و -10.53v بوده است.در پایان این تحلیل برای FG-MOSFET تعمیم شده است.کلیدواژه ها
سنسور گاز، FG-MOSFET ، CMOS و MEMSمقالات مرتبط جدید
- CFD modeling of back pressure in a three-way catalytic converter
- Preparation of acid-based deep eutectic solvent as phase change material
- A quantitative estimation of water produced by air conditioners in Bushehr city
- Waste Management System in Tabriz Oil Refinery
- Characterization of multimodal polyethylene resin
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.