طراحی وساخت سخت افزار و تهیه نرم افزار کامپیوتری به منظور کنترل بر فرآیند الکتروانباشت فیلم های نازک چند لایه ای نانو مقیاس

  • سال انتشار: 1385
  • محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1385
  • کد COI اختصاصی: IPC85_156
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1308
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

غلامرضا نبیونی

گروه فیزیک، دانشگاه اراک

مرضیه عسگری

گروه فیزیک، دانشگاه اراک

حمید عبدی

گروه برق دانشگاه علم و صنعت ایران، دانشکده فنی و مهندسی اراک

چکیده

روش الکتروانباشت یکی ازروش های بسیار قوی وپرکاربرد در زمینه ایجاد پوشش ها و لایه های نازک روی الکترودهای فلزی است . مشخصات این فرآیند به صورتی است که به منظور تولید لایه هایی با مشخصات مورد نظر، لازم است تا جریان و ولتاژ عبوری از الکترولیت به صورت دقیق اندازه گیری شده و قابلیت تغییر آن مطابق پروفایلی خاص در زمان های بسیار کوتاه فراهم باشد . در واقع دستگاه مورد نظر علاوه بر اینکه باید دارای مشخصات پایداری در حالت های جریان و ولتاژ استاتیک باشد باید قادر باشد که دینامیک مورد لزوم جهت داشتن لایه مناسب را از لحاظ کنترل بر ولتاژ و جریان به همراه داشته باشد . در این مقاله نحوه طراحی وساخت دستگاه مورد نظر برای فرآیند خاص الکتروانباشت آورده شده و اجزاء متناسب با فرآیند طراحی شده اند . همچنین ساختار نرم افزار و اعمال لاجیک های کنترل و نحوه ارتباط با PC ذکر شده و ایجاد یک پروفایل ولتاژی و جریانی توسط دستگاه با مقادیر اعمالی به آن مقایسه شده است . قابل ذکر است که ساختار آورده شده یک ساختار عمومی برای کنترل بر فرآیندهای مشابه شیمیایی و فیزیکی را مهیا می نماید

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.