شبیه سازی فرآیندهای ساخت سیماس برای ترانزیستور سیلیکون روی الماس دولایه
- سال انتشار: 1404
- محل انتشار: فصلنامه مهندسی برق و الکترونیک ایران، دوره: 22، شماره: 1
- کد COI اختصاصی: JR_JIAE-22-1_008
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 83
نویسندگان
Shahrekord University
Shahrekord University
Shahrekord University
چکیده
در این مقاله برای اولین بار به شبیه سازی ساخت و پیاده سازی فرآیند های سیماس برای ترانزیستور سیلیکون روی الماس دولایه پرداخته شده است. فرآیندهای ساخت این ترانزیستور متناسب با تکنولوژی سایز ۲۲ نانومتری آن و وجود دو لایه ی اصلی عایق در این ساختار، مطابق با استانداردهای ساخت سیماس افزاره های نیمه رسانا پیاده سازی شده است؛ الماس به عنوان عایق الکتریکی اول دارای هدایت حرارتی بالا است که امکان کاربرد این ساختار را در شرایط دمایی یکسان در توان و فرکانس های بالاتر فراهم می کند. همچنین به دلیل وجود اکسید سیلیکون به عنوان عایق الکتریکی دوم، امکان کنترل و بهبود برخی از مشخصات الکتریکی اصلی ترانزیستور نظیر: ولتاژ آستانه، فرکانس قطع بهره واحد، جریان روشنایی و غیره را میسر می سازد. به همین جهت: ولتاژ آستانه ۲۲۵/۰ ولت، جریان روشنایی ۰۴۵/۰ میلی آمپر بر مایکرون و فرکانس قطع بهره واحد ۳۷۰ گیگاهرتز، از نمودارهای مشخصات الکتریکی ساختار نهایی ترانزیستور استخراج و بررسی شد تا اطمینان حاصل گردد ترانزیستور ساخته شده با هدف اثبات امکان ساخت آن، کارآیی مطلوب و برتر را نیز نسبت به ساختارهای پیشین دارد. نتایج حاصل از شبیه سازی و تحقیقات پیشین، موید برتری این ساختار و جایگزینی پیشرفته تر برای ساختارهای پیشین با فناوری سنتی سیلیکون رو عایق است.کلیدواژه ها
Simulation of Fabrication Process, Silicon-on-Diamond Transistor, Silicone on double layer insulation, CMOS standard processes, MOSFET, شبیه سازی فرآیندهای ساخت, ترانزیستور سیلیکون روی الماس, سیلیکون روی عایق دولایه, فرآیندهای استاندارد سیماس, ماسفتاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.