بررسی ویژگی های میکروساختاری لایه نازک Cu با تغییر دمای زیرلایه بر مبنای نظریه فرکتال
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: اولین کنفرانس ملی نو آوری ها در پردازش لایه های نازک و مشخصه های آنها
- کد COI اختصاصی: THINFILM01_009
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 582
نویسندگان
پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی هسته ای ، کرج
پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی هسته ای ، کرج
پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی هسته ای ، کرج
گروه مواد دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران
چکیده
لایه نازک مس (Cu) با روش کند و پاش مغناطیسی در محدوده دمای زیرلایه 523 - 300 درجه کلوین بر روی زیرلایه شیشه انباشت شد. تاثیر تغییر دمای زیرلایه بر ویژگی های میکرو ساختاری لایه نازک مس مورد مطالعه قرار گرفت. توپوگرافی سطح لایه توسط میکروسکوپ الکترونی عبوری ( SEM ) مورد بررسی قرار گرفت. پارامترهای بررسی توگرافی سطح با استفاده از نظریه فرکتال بدست آمدند. روش شمارش جعبه دیفرانسیلی برای محاسبه بعد فرکتالی مورد استفاده قرار گرفت. برای بررسی بهتر زبری سطح فیلم ها از تصاویر دو و سه بعدی تصاویر SEM استفاده شد.کلیدواژه ها
میکروسکوپ الکترونی عبوری، ویژگی های میکروساختاری، لایه نازک، فرکتالمقالات مرتبط جدید
- آنالیز افت فشار دو فازی در آکنه های ساختار یافته توسط دینامیک سیالات محاسباتی
- آنالیز افت فشار دو فازی در آکنه های ساختار یافته توسط دینامیک سیالات محاسباتی
- حذف ترکیبات آلی فرار از پساب و هوا توسط نانو الیاف پلیمری الکتروریسی شده
- حذف ترکیبات آلی فرار از پساب و هوا توسط نانو الیاف پلیمری الکتروریسی شده
- حذف ترکیبات آلی فرار از پساب و هوا توسط نانو الیاف پلیمری الکتروریسی شده
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.