مدلسازی جابجایی مکانیکی صفحه متحرک خازن متغیر MEMS با ساختار اهرمی بر اثر نیروی الکتروستاتیکی

  • سال انتشار: 1392
  • محل انتشار: پنجمین کنفرانس ملی مهندسی برق و الکترونیک ایران
  • کد COI اختصاصی: ICEEE05_089
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 614
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

هدیه محمودنیا

دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل

بهرام عزیزالله گنجی

دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل

چکیده

این مقاله یک مدلسازی مکانیکی برای بیان رفتاریک خازن متغیر با ساختاراهرمی براثراعمال نیروی الکتروستاتیکی برناحیه میانی آن بیان شده است این ساختارصفحه خازنی توسط چهارتیرک ازیک طرف ثابت شده است و ابعاد تیرکهای نگهدرنده این خازن طورری طراحی شده اند تا صفحه خازنی بطور موازی به سمت پایین حرکت کند ازاین رو رابطه ای جهت محاسبه جابجایی حاصل ازاعمال نیرو به هریک ازاین تیرک ها بدست آمده است دراین مقاله همچنین رابطه میان میزان جابجایی نقطه انتهایی تیرک و طول آن و نیز فاصله محل اعمال نیرو به تیرک تا تکیه گاه نیز مورد بررسی قرارگرفته است علاوه براین نتیج روابط تئوری با نتایج شبیه سازی مقایسه شده است که درستی این روابط را تصدیق می کند.

کلیدواژه ها

خازن متغییر، ساختاراهرمی، نیروی الکتروستاتیکی، جابجایی مکانیکی، تیرک

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.