Presentation of Novel Techniques to Investigate the Pull-in Instability of a Micro Beam Subjected to Electrostatic Actuation
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: دوازدهمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید ایران
- کد COI اختصاصی: ICME12_398
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 784
نویسندگان
School of Engineering- Emerging Technologies, University of Tabriz, Tabriz, Iran
Faculty of Mechanical Engineering, University of Tabriz, Tabriz, Iran
School of Mechanical Engineering, College of Engineering, University of Tehran, Tehran, Iran
School of Engineering- Emerging Technologies, University of Tabriz, Tabriz, Iran
چکیده
In this study, two novel techniques are presented to investigate pull-in voltage of electrostatically actuated micro beams. The pull-in voltages along with structural and material properties are critical parameters affecting the behaviors of Micro Electro Mechanical (MEM) actuators. The work presented in this paper consists of two major sections. The first section deals with studying the pull-in voltage and vibrational behavior of an electrostatically actuated fixed-fixed micro beam. For this purpose, modal characteristics of the micro beam about the equilibrium position are studied using finite element method the results are in good agreement with those presented in the literature. In the second section, a cantilever micro beam actuator with electrostatic actuation is considered. The pull-in voltage and deflection of this actuator is evaluated by modeling and simulating the device in COMSOL multiphysics package, the obtained results are compared with the other previously reported results and good agreements are observed.کلیدواژه ها
Electrostatic actuation; Micro beam; Modal characteristics; Pull-in voltageمقالات مرتبط جدید
- تحلیل مکانیزم جدید رابط بین صفحه متحرک و ثابت ربات موازی صفحه ای
- تحلیل عددی کمانش پوسته استوانهای کامپوزیت تحت فشار یکنواخت خارجی با در نظر گرفتن جدایش بین الیه ها و رشد آن با استفاده از روش المان های چسبنده
- تحلیل عددی مخزن استوانه ای جدار نازک به روش متقارن محوری و مقایسه آن با حل دقیق
- بررسی تاثیر نرخ سرد شدن بر سختی و ریز ساختار یک آلیاژ
- مروری بر کامپوزیتهای فلزی؛ ویژگیها و روشهای تولید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.