Design and Fabrication of an Out of Plane Micro-Inertial Sensor
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: دوازدهمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید ایران
- کد COI اختصاصی: ICME12_014
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 1349
نویسندگان
Department of Mechanical Engineering, Amirkabir University of Technology, Tehran, Iran
Department of Mechanical Engineering, Amirkabir University of Technology, Tehran, Iran
Department of Mechanical Engineering, Amirkabir University of Technology, Tehran, Iran
چکیده
The function of a micro accelerometer depends on several performance parameters such as resolution, sensitivity and noise level. This paper presents design and fabrication of an optimized micro-machined out of plane capacitive accelerometer. The accelerometer consists of a proof mass and four folded beams fabricated on a 100 μm thick single crystal silicon (SCS) substrate using high aspect ratio reactive ion etching (RIE) process. The optimization process is carried out by the use of non-dominated sorting genetic algorithm (NSGA-II) by considering performance requirements and manufacturing process limitations, such as mask printing resolution and minimum feasible feature size in RIE process. The optimization process will present a Pareto optimal front by a set of optimal designs. In order to achieve a design with maximum conformity with the read out circuit requirements, a trade off should be made between solutions. So the limits for the electrical circuit can be changed without any new optimization process.کلیدواژه ها
MEMS sensor; Optimization; Pareto front; Performance parameter; Trade offمقالات مرتبط جدید
- توسعه مبدل حرارتی داخلی ( IHX ) از طریق تغییر فرآیند ساخت و تولید لوله های گاز کولر در صنعت خودروسازی
- بهبودعملکرد سیکل تبرید تراکمی با تغییر فرآیند ساخت مبدل SLHX از آرایش مماسی به هم مرکز
- بررسی تاثیر لایه میانی روی در اتصال غیر مشابه آلیاژ پایه منیزیم AZ۳۱ و آلومینیوم ۶۰۶۱ به روش جوشکاری اصطکاکی اغتشاشی نقطهای
- بررسی تجربی سوراخکاری کامپوزیتهای پلیمری: مقایسه جوت و شیشه
- سیستم هوشمند پایش وضعیت بلبرینگ با استفاده از طیفنگاره صوتی جهت طبقهبندی و تشخیص خطای بلبرینگ ها
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.