بررسی و شبیه سازی ساختار باکس و بدنه ی فوق نازک در ترانزیستور سیلیکون روی الماس دولایه با طول کانال ۲۲ نانومتر

  • سال انتشار: 1403
  • محل انتشار: سومین کنفرانس بین المللی دانشجویان و مهندسان برق و انرژی های پاک
  • کد COI اختصاصی: MEECDSTS03_023
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 229
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

حامد اسکندری

دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه شهرکرد، شهرکرد، ایران

آرش دقیقی

دانشیار، دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه شهرکرد، شهرکرد، ایران

چکیده

در این مقاله، برای اولین بار به کمک نرمافزار ISE-TCAD ، ساختار باکس و بدنهی فوق نازک در ترانزیستور سیلیکون رویالماس دولایه با طول کانال ۲۲ نانومتر، شبیه سازی شد. برای استخراج نزدیکترین مدل شبیه سازی شده به ساختار واقعیافزاره، مقادیر دقیق و معین؛ میزان ناخالصی ها، انرژی ها، دما، زمان و زوایای کاشت یون در تمام فرآیندهای ایجاد نواحی فعالترانزیستور، مطابق با استانداردهای سیماس پیاده سازی شدند. این ترانزیستور شامل دو لایه ی اصلی عایق (الماس و اکسیدسیلیکون) است. در جدیدترین طرح این ترانزیستور، جهت بهره گیری از مزایای ساختار باکس و بدنه ی فوق نازک، نظیر:کاهش اثرات کانال کوتاه، کنترل ولتاژ آستانه و کاهش جریان نشتی افزاره، یک لایه ی سیلیکونی به ضخامت ۵۰ نانومتر برروی ویفر سیلیکون روی الماس ترانزیستور، لایه نشانی شده است. در نهایت جهت بررسی مشخصات الکتریکی ترانزیستور درمقایسه با ماسفت های رایج، مقادیر مشخصه های اصلی مانند: فرکانس قطع بهره واحد، جریان روشنایی، جریان خاموشی وولتاژ آستانه ترانزیستور استخراج شد. نتایج شبیه سازی بیانگر کنترل و بهبود برخی از مهمترین مشخصه های الکتریکیترانزیستور سیلیکون روی الماس دولایه با باکس و بدنه ی فوق نازک، توام با قابلیت هدایت حرارتی بالای آن (به دلیل وجودالماس) نسبت به ساختارهای پیشین و رایج (سیلیکون روی عایق) است.

کلیدواژه ها

سیلیکون روی الماس، باکس و بدنهی فوق نازک، عایق دولایه، ماسفت، سیلیکون روی عایق

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.