آنالیز حساسیت پارامترهای هندسی میکروکانتیلور پیزوالکتریک در حرکت ارتعاشی خطی

  • سال انتشار: 1391
  • محل انتشار: دومین کنفرانس بین المللی آکوستیک و ارتعاشات
  • کد COI اختصاصی: ISAV02_163
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1363
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

رضا قادری

دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات، گروه مهندسی مکانیک و هوافضا، تهران

محرم حبیب نژادکورایم

چکیده

میکروکانتیلورهای پیزوالکتریک نوع خاصی از تیرکها هستند که با داشتن قابلیت خود محرکی و خود اندازه گیری می توانند بعنوان میکرو روبات درAFMسنسور و محرک مورد استفاده قرار بگیرند. در این مقاله آنالیز حساسیت حرکت ارتعاشی یک میکروکانتیلور پیزوالکتریک با وجود ناپیوستگی های هندسی انجام شده است. از آنجایی که در حرکت های ارتعاشی دامنه تشدید وفرکانس طبیعی از اهمیت بالایی برخوردار هستند و در بسیاری از کاربردهای مهندسی مانندMEMS و AFM نیز مورد توجه می باشند، بنابراین آنالیز حساسیت بر روی این دو پارامتر انجام می شود. تحلیل ارتعاشی بر اساس مدل تیر غیر یکنواخت و بر اساستئوری اویلر- برنولی انجام شده است. به منظور آنالیز حساسیت حرکت ارتعاشی میکروکانتیلور به پارامترهای ابعاد هندسی لایه ها و نوک از روش سوبل استفاده شده است، تا پارامترهای حساس و غیر حساس و همچنین میزان تاثیر آنها در حرکت ارتعاشیمیکروکانتیلور پیزوالکتریک مشخص شود. نتایج شبیه سازی نشان می دهند که برای رسیدن به توانایی تحریک بهتر است که لایه پیزوالکتریک نازک، پهن و بلند انتخاب شود و نوک نیز نازک و کوتاه باشد

کلیدواژه ها

میکروکانتیلور پیزوالکتریک؛ آنالیز حساسیت؛ ارتعاش خطی؛ روش سوبل

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.