ساخت چشمه پلاسمای کاتد داغ برای لایه نشانی به روش اسپاترینگ توسط پرتو یون
- سال انتشار: 1392
- محل انتشار: فصلنامه علوم و مهندسی سطح ایران، دوره: 9، شماره: 18
- کد COI اختصاصی: JR_IJSSE-9-18_010
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 172
نویسندگان
چکیده
در این پژوهش یک نمونه چشمه پلاسمای کاتد داغ برای یک چشمه پرتو یون پهن به قطر ۵ سانتیمتر طراحی و ساخته شد. این چشمه یون قابل استفاده در لایه نشانی به روش کندوپاش است. وضعیت تشکیل پلاسما در خلا بالا (محدوه ۳-۱۰ تا ۴-۱۰میلی بار) و با اعمال میدان مغناطیسی توسط مجموعه آهنرباهای دائمی مورد مطالعه قرار گرفت. تاثیر پارامترهای کنترلی مختلف مانند فشار کار، پتانسیل تخلیه الکتریکی و جریان چشمه الکترون (رشته تنگستن) بر چگالی پلاسما بررسی گردید. با اعمال ولتاژ تخلیه الکتریکی ۵۷ ولت و میدان مغناطیسی حدود ۲۰۰ گاوس و عبور جریان ۱۸ آمپر از رشته کاتد، مقدار بیشینه ۱۳۰ میلی آمپر برای جریان پلاسما در فشار ۴-۱۰×۲/۱ میلی بار اندازه گیری شد.کلیدواژه ها
سی اس تی, باریکه ی پوزیترون کند, شبیه سازی, سیستم انتقال مغناطیسی خماطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.