Increasing the Sensivity of the Piezoresistive Micro/Nano Cantilever Sensors

  • سال انتشار: 1387
  • محل انتشار: دومین کنگره بین المللی علوم و فناوری نانو
  • کد COI اختصاصی: ICNN02_335
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 1447
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

Ahmad Ghanbari

Department of mechanical engineering, University of Tabriz, P. O. Box ۵۱۶۶۴, Tabriz

Ali Rostami

Mechatronic research Lab., School of engineering- emerging technologies, University of Tabriz

Mir Masoud Seyyed Fakhrabadi

Department of mechanical engineering, University of Tabriz

Amin Yaghoobi

Department of mechanical engineering, University of Tabriz

چکیده

Micro cantilevers have been considered to study surface stresses as a result of adsorption of molecules. It has been demonstrated that micro cantilevers are very sensitive to the adsorption of molecules and this has led to the use of micro cantilevers as sensor devices for the detection of binding of mercury vapor, moisture, and volatile mercaptans [1]. Micro mechanical cantilevers were first use as force probes in Atomic Force Microscopy (AFM) [2]. Changes caused in the output signal of piezoresistors and piezoelectrics by displacement at the end point of cantilevers or in the resonance frequency are sample mechanisms of detecting and sensing for micro/nano sensors. In present paper increasing in the sensivity parameter of piezoresistive micro/nano sensors will be investigated. Some theoretical but impractical suggestions to improve the sensivity of these sensors will be criticized and novel method based on nano composites will be introduced

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.