طراحی میکرو فلو متر گازی جدید با استفاده از تکنولوژی میکرو الکترومکانیک سنسورها

  • سال انتشار: 1391
  • محل انتشار: اولین کنفرانس بین المللی نفت، گاز، پتروشیمی و نیروگاهی
  • کد COI اختصاصی: ICOGPP01_570
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1766
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

پرستو نوذری

دانشجوی دکتری مهندسی برق الکترونیک

مهدی خسروی

کارشناسی ارشد مهندسی برق الکترونیک

ارسطو نوذری

کارشناسی مهندسی برق مخابرات

چکیده

در این مقاله یک میکرو تیرک جدید سیلیکنی بسیار حساس به همراه استرین گیج پیزو مقاومتی مجتمع شده uشکل بر روی آن مورد استفاده در فلومتر های گازی را بهینه سازی و یک سیستم بازخوانی پیزو مقاومتی جدید را معرفیمی نماییم. برای اصلاح حساسیت سنسورها ی میکرو تیرکی ،این مقاله مشخصه های خمش ،لرزش و ماکزیمم استرس میکروتیرک های مستطیلی و ذوزنقه ای شکل را آنالیز و مقایسه می نماییم .در نتیجه یک میکرو تیرک جدید ذوزنفه ایشکل با حساسیتی بسیار بیشتر از انواع سنتی آن طراحی شده است.استرس سطحی ، به صورت نیروی کششی درون صفحه ای که به لبه بالایی میکروتیرک وارد شده مدل شده است. نرم افزار ANSYS به عنوان ابزار طراحی و مدلسازی خصوصیات مکانیکی میکروتیرکهای مبتنی بر سیلیکن استفاده شده است. مدلسازی میکروتیرک با معادلات اویلر- برنولی و فرمولهای استونی برای محاسبه مومنتوم استرس سطحی و خمش انجام شده است.برای انتخاب حساس ترین میکروتیرک ،ابعاد با استفاده از الگوریتم ژنتیک بهینه سازی شده است.نتایج شبیه سازی از تطابق بسیار بالایی برخوردار می باشند

کلیدواژه ها

میکروتیرک-مقاومت پیزویی- حساسیت-الگوریتم ژنتیک

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.