اثر دما بر ساختار پوشش TiN ایجاد شده به روش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما (PACVD) بر روی فولاد ابزار
- سال انتشار: 1389
- محل انتشار: چهارمین همایش مشترک انجمن مهندسین متالورژی و انجمن ریخته گری ایران
- کد COI اختصاصی: IMES04_337
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1526
نویسندگان
گروه مهندسی مواد ،دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
دانشیار دانشکده مهندسی متالورژی و مواد، پردیس دانشکده های فنی، دانش
استادیار ، سازمان پژوهشهای علمی ایران
کارشناس ارشد مهندسی متالورژی و مواد، پژوهشکده علوم و فناوری مهام-گرو
چکیده
روش PACVD بخاطر استفاده از محیط پلاسما دمای پوشش دهی کمتری نسبت به روش CVD معمولی دارد (550-450 درجه سانتیگراد). دمای پوشش دهی این روش معمولا کمتر از دمای تمپر اکثر فولادهای ابزار است، به همین دلیل روش مناسبی جهت ایجاد پوشش های نیتریدی از جمله TiN بر روی فولادهای ابزار می باشد. در یان تحقیق جهت ایجاد پوشش TiN بر روش فوق از مخلوط گازهای TiCl4, H2, N2 و Ar به عنوان پیش ماده استفاده شد و پوشش TiN در دماهای 450 و 480 و 520 درجه سانتیگراد بر روی فولاد ابزار تندبر DIN1.3355 رسوب گذاری شد. سپس آنالیز شیمیایی، ریز ساختار ، ساختار کریستالی و توپوگرافی پوشش ها بوسیله میکروسکوپ الکترونی روبشی، پراش اشعه ایکس و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد بررسی قرار گرفتند. نتایح نشان دادند که TiN ایجاد شده دارای رشد جزیره ای ساختار گل کلمی بوده و با افزایش دمای لایه نشانی اندازه دانه های TiN و همچنین ضخامت لایه ایجاد شده افزایش می یابد.کلیدواژه ها
پوشش دهی پلاسمایی، PACVD ، پوشش نیترید تیتانیوم، فولاد ابزار تندبر DIN1.3355مقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.