تاثیر لایه نشانی بر روی میکروآینه ها با در نظرگرفتن خاصیت الکترواستاتیکی

  • سال انتشار: 1401
  • محل انتشار: هشتمین کنفرانس بین المللی مهندسی برق ،الکترونیک و شبکه های هوشمند
  • کد COI اختصاصی: EESCONF08_011
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 378
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

رضا محمدی نساء امیری

دانشکده برق و کامپیوتر، رازی

مزدک رادملکشاهی

علیرضا رضایی

فاطمه زینی

سینا علیمرادی

چکیده

میکروآینه های دیجیتال،فناوری پرکاربرد در زمینه های مختلف پژوهشی و علمی از پزشکی تا علوم مهندسی دارد. ما دراین پژوهش به منظور بررسی انعطاف میکروآینه های دیجیتالی چندین ولتاژ متفاوت را مورد بررسی قرار داده ایم.دراین پژوهش با استفاده از شبیه سازی با نرم افزار کامسول واعمال ولتاژهای مختلف ،میزان جابه جایی در راستای محور Z در زمانی که اکسید سیلیکون بر روی الکترود هایی که ولتاژ به آن اعمال میشود بیشتر از حالتی است که بدون الیه نشانی الکترود میکرو آینه منحرف میشود میباشد

کلیدواژه ها

میکرو آینه،الکترواستاتیک،الکترود،دستک

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.