ساخت حسگر فشار گسیل میدانی با استفاده از آرایه نانولولههای کربنی عمودی برروی بستر سیلیسیومی ریزماشینکاری شده
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
- کد COI اختصاصی: ICEE19_470
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 880
نویسندگان
دانشکده مهندسی برق دانشگاه تربیت مدرس
آزمایشگاه لایه نازک و نانوالکترونیک، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
آزمایشگاه لایه نازک و نانوالکترونیک، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
دانشکده مهندسی برق دانشگاه تربیت مدرس
چکیده
از نانولولههای کربنی به عنوان کاتد سرد در ساخت حسگر فشار گاز استفاده شده است. نانولولهها به صورت عمودی به روشPECVD روی زیر لایه سیلیسیومی ریزماشینکاری شده رشد داده شدهاند. حسگر فشار به عنوان آند قابل انعطاف در مقابل فشار اعمالی از غشاء سیلیسیومی انعطافپذیری که به کمک زدایش زیرلایه بهدست آمده استفاده میکند. غشاء با تغییر فشار ورودی خم میشود و با تغییر فاصله آند - کاتد جریان گسیلی تغییر میکند. رشد نانولولهها در الگوهای ریزماشینکاری شده با استفاده از دستگاهSEMبررسی شده است.کلیدواژه ها
حسگر فشار، گسیل میدانی، نانولوله کربنیمقالات مرتبط جدید
- استفاده از اینترنت اشیا در بهبود مدیریت بار و افزایش کارایی شبکه های برق
- بهینه سازی توان در سیستم های چند هسته ای با استفاده از یادگیری تقویتی و تخصیص منابع
- بررسی مدارهای مجتمع آنالوگ کم مصرف برای کاربردهای پزشکی
- Physical Layer Security in ۵G Networks Using ArtificialInterference
- یک روش جدید در سیستم های توصیه گر برای پیش بینی سلیقه کاربران با استفاده ازالگوریتم بهینه سازی نهنگ
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.