Applying a novel multilayered Nano-crystalline Silicon structure in fabrication of silicon-based light emitting diodes

  • سال انتشار: 1390
  • محل انتشار: نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
  • کد COI اختصاصی: ICEE19_461
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 1260
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

S Darbari

Thin Film and Nano-Electronic Laboratory, Faculty of Electrical and Computer Engineering

M Shahmohammadi

Thin Film and Nano-Electronic Laboratory, Faculty of Electrical and Computer Engineering, University of Tehran, Tehran

S. Mohajerzadeh

چکیده

A low-temperature hydrogenation-assisted sequential deposition and crystallization technique is reported for the preparation of nano-scale silicon quantum dots suitable for light-emitting applications. The preparation of layers of quantum dots was by RF plasma-enhanced deposition and insitu treatment of an amorphous silicon film followed by reactive-ion etching to create the nanoscale features. The physical characteristics of the films prepared at different plasma conditions were investigated by scanning electron microscopy, transmission electron microscopy, atomic force microscopy and photoluminescence analysis. The formation of multilayered structures improved the photon-emission properties as observed by photoluminescence while a thin layer of silicon-oxy-nitride was used for electrical isolation between adjacent silicon layers. The preparation of light-emitting diodes directly on glass substrates has been also demonstrated

کلیدواژه ها

Light-emitting diode, luminescence, multilayer structure, nano-crystalline silicon

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.