ارزیابی خواص نوری و ساختاری لایه نازک کربن آمورف گرافیتی انباشت شده به روش کندوپاش پرتو یونی در انرژی یون متفاوت
- سال انتشار: 1399
- محل انتشار: فصلنامه علوم و مهندسی سطح ایران، دوره: 16، شماره: 44
- کد COI اختصاصی: JR_IJSSE-16-44_003
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 192
نویسندگان
سازمان انرژی اتمی- پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای- پژوهشکده کاربرد پرتوها
پژوهشکده فیزیک و شتابگرها، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران، ایران
پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی های نو، سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی های نو، سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
پژوهشکده کاربرد پرتوها، پژوهشگاه علوم وفنون هسته ای
چکیده
در تحقیق حاضر لایه نازک کربن آمورف گرافیتی به روش کندوپاش پرتو یونی بر زیرلایه شیشه انباشت شده است. تاثیر انرژی یون در محدوده گسترده از keV ۸/۱ تا keV ۵ بر خواص نوری و ساختاری لایه نازک کربن آمورف بررسی شده است. نتایج بررسی خواص نوری و ساختاری به ترتیب با استفاده از طیفسنجی مرئی- فرابنفش و طیفسنجی رامان نشاندهنده ارتباط مستقیم تحولات ساختاری و فیزیکی میباشد. نتایج بررسی طیفسنجی رامان نشاندهنده تحولات ساختاری لایه نازک کربن آمورف در محدوده تحولات گرافیتی-گرافیتی نانوکریستالی میباشد. اندازهگیری طیف عبور نمونهها، افزایش میزان عبور نور در محدوده مرئی با افزایش انرژی یون از keV ۳ را نشان میدهد که با افزایش نسبت ID/IG و کاهش ضخامت لایه همراه است. مقاومت الکتریکی اندازهگیری شده توسط روش چهارکاوه و شکاف انرژی نوری در محدوده مذکور نیز روند افزایشی دارد. براساس نتایج بدست آمده با استفاده از معادله تاک حداکثر شکاف انرژی نوری لایه نازک کربن آمورف eV۷۵/۳ مربوط به لایه انباشت شده با اندازهی خوشههای گرافیتی برابر با nm ۵ میباشد.کلیدواژه ها
لایه نازک کربن آمورف گرافیتی , خواص نوری , انرژی یون , کندوپاش پرتو یونیاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.