تحلیل ارتعاشاتی مکانیزم منعطف موازی برای کاربرد در میکروسکوپ نیروی اتمی

  • سال انتشار: 1399
  • محل انتشار: دهمین کنفرانس بین‌المللی آکوستیک و ارتعاشات
  • کد COI اختصاصی: ISAV10_045
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 431
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

عرفان نوروزی

دانشکده مهندسی مکانیک، پردیس دانشکده های فنی دانشگاه تهران ایران دانشجوی کارشناسی

نیلوفر رمرودی

دانشکده مهندسی مکانیک، پردیس دانشکده های فنی دانشگاه تهران ایران دانشجوی کارشناسی

مریم مهنما

دانشکده مهندسی مکانیک، پرد یس دانشکده های فنی دانشگاه تهران استادیار

چکیده

یکی از چالش های جدید در مهندسی مکانیک ایجاد و کنترل جابجایی ها در تجهیزات اندازه گیری و ساخت با دقت نانومتری است. مکانیزم های منعطف یکی از سیستم هایی هستند که به منظور ایجاد جابجایی با دقت نانومتری به کار گرفته می شوند. در این پژوهش، تحلیل ارتعاشاتی یک مکانیزم منعطف با قابلیت ایجاد جابجایی نانومتری مورد توجه قرار گرفته است. این مکانیزم منعطف دارای دو درجه آزادی می باشد و به منظور کاربرد در میکروسکوپ نیروی اتمی و به صورت موازی طراحی شده است. برای عملگر این نوع مکانیزم ها نیز معمولا از قطعات پیزوالکتریک استفاده می شود. هدف طراحی، بدست آوردن ضریب تقویت و فرکانس طبیعی اول بالا می باشد. ابعاد کلی مکانیزم 161×161×11.5 میلی متر و ابعاد استیج داخلی آن 40×40×6.5 میلیمتر و جنس مکانیزم از آلومینیوم 7075 می باشد. طراحی مکانیزم در نرم افزار سالیدورک و شبیه سازی، بهینه سازی و تحلیل ارتعاشاتی آن در نرمافزار کامسول انجام شده است. هدف از بهین هسازی بدست آوردن بالاترین فرکانسطبیعی اول با شرط تامین جابجایی 125 میکرومتر بوده است. ضریب تقویت مکانیزم و فرکانس اول مکانیزم در دو راستا پس از بهینه سازی، 7 و 260 هرتز و خطا نیزکمتر از 0.4 درصد به دست آمده است. در ادامه ویژگی های ارتعاشاتی مکانیزم مانند فرکانس های طبیعی، تابع تبدیل، پهنای باند و پاسخ فرکانسی استخراج می شود.

کلیدواژه ها

مکانیزم منعطف، جابجایی نانومتری، تقویت کننده، فرکانس طبیعی اول، شبیه سازی المان محدود، ضریب تقویت مکانیزم

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.