بررسی تأثیر اکسیداسیون گرمایی بر خواصنانو ساختارهای سیلیسیوم متخلخل بهمنظور استفاده در موجبر نوری
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: دومین همایش ملی مهندسی اپتیک و لیزر ایران
- کد COI اختصاصی: NCOLE02_211
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1216
نویسندگان
خمینیشهر،باشگاه پژوهشگران جوان دانشگاه آزاد اسلامی واحد خمینیشهر
خمینیشهر،باشگاه پژوهشگران جوان دانشگاه آزاد اسلامی واحد خمینیشهر
تهران، مرکز تحقیقات مخابرات ایران، گروه مخابرات نوری
تهران، سازمان صنایع هوا- فضا، صنایع شهید شیرودی
چکیده
در این مقاله شرح ساخت لایههای سیلیسیوم متخلخل متشکل از نانوساختارهارا به روش الکتروشیمیایی بر روی زیرلایه سیلیسیوم نوع p+ ارائه دادیم. مشخصات فیزیکی لایههای ساخته شده را با استفاده از روشجرمسنجی و تصویربرداری AFM وFESEM و مشخصات نوری آن را با استفاده از طیف بازتاب تعیین کردیم. سپسلایه متخلخل به دست آمده را اکسید کرده و تأثیر اکسیداسیون را بر خواص فیزیکی و نوری آن بررسی کردیم. نتایج نشان میدهد که اکسیداسیون گرمایی ابعاد نانوساختارها را افزایشداده و سطح هموارتری به وجود میآورد. از طرفی ضخامت لایه PS با اکسیداسیون افزایشیافته و ضریب شکست لایه حاصل کاهشمییابد. نتیجه این آزمایشمی تواند برای ساخت موجبرهای نوری در فناوری اپتیکمجتمع مورد استفاده قرار گیردکلیدواژه ها
اکسیداسیون، سیلیسیوم متخلخل، ضخامت نوری، موجبر نوری، نانوساختارمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.