تعیین ضخامت لایه نازک دی الکتریک SiO2 بر روی بستر با استفاده از تکنیک رنگ
- سال انتشار: 1389
- محل انتشار: سومین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران
- کد COI اختصاصی: PHOTONICS03_004
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1454
نویسندگان
مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران
چکیده
تعیین ضخامت در لایه های نازک مسئله پراهمیتی است که د رخط تولید قطعات الکترونیکی و اپتوالکترونیکی بسیار مورد توجه است دراین مقاله باتوجه به کاربرد وسیع لایه های نازک عایق SiO2 در صنعت اپتوالکترونیک اندازه گیری ضخامت این لایه ها با استفاده از تکنیک رنگ موردتوجه قرار گرفته است دراین روش استانداردماتریسی برای تشخیص رنگ انتخاب شد هاست در نهایت با استفاده از نتایج تجربی حاصل از لایه نشانی به روش APCVD جدول رنگ متناظر با ضخامتهای مختلف بدست آمده که می توان با استفاده از آن د رحین لایه نشانی در دستگاه CVD، ضخامت لایه را تشخیص داد.کلیدواژه ها
کد رنگ، استاندارد ،APCVD,SiO2,C.IEمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.