مقایسه نفوذ فلورین در سطح شیشه در فرایند شکست مولکولهای گاز SF6 در مجاورت هدف شیشه ای توسط لیزر اگزایمر از فشارهای مانومتری تا بارومتری
- سال انتشار: 1389
- محل انتشار: هفدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و سومین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران
- کد COI اختصاصی: ICOPTICP17_192
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1145
نویسندگان
گروه فیزیک دانشگاه تفرش
دانشکده مهندسی هسته ای و فیزیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر
چکیده
چنانچه تپ های متعدد لیزر اگزایمر ArF پس از کانونی شدن از میان محیط گازی SF6 عبور کرده و برسطح سیلیکون فرود ایند شاهد شکست مولکولهای SF6 هستیم که به علت متفاوت بودن انرژی فوتونهای تشکیل دهنده پرتولیزر با اختلاف ترازهای انرژی مولکولهای SF6 انتظار می رود این شکست مولکولی براثر برخورد ذرات کنده شده از سطح سیلیکون توسط لیزر با مولکولهای گاز روی داده باشد در ادامه این فرایند یونهای فلورین دار در سطح سیلیکون نفوذ کرده و با سطح واکنش شیمیایی می نمایند. دراین مقاله میزان نفوذ این یونها در سطح سیلیکون د رفشارهای چند صد میلی بار و کمتر از یک میلی بار مقایسه شده و نتایج موردبررسی قرارگرفته اند.کلیدواژه ها
شکست مولکولی، نفوذ سطحی فلوری، لیزراگزایمر ArF، فشار گاز SF6، شیشهمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.