لایه نشانی اکسید روی به روش رسوبگذاری بخار شیمیایی پلاسمایی با استفاده از ماده فلزی - آلی استیل استات روی
- سال انتشار: 1389
- محل انتشار: هفدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و سومین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران
- کد COI اختصاصی: ICOPTICP17_160
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2539
نویسندگان
پژوهشکده لیزر و پلاسما دانشگاه شهید بهشتی تهران
چکیده
دراین مقاله لایه نشانی اکسیدروی ZnO به کمک فرایند رسوبگذاری بخار شیمیایی در محیط پلاسما با راکتور کوپل خازنی و منبع تغذیه فرکانس رادیویی RF-PECVD موردمطالعه قرارگرفته است ترکیب فلزی - الی استیل استات روی Zn(acac)2 به عنوان ماده اولیه روی و گا زاکسیژن به عنوان ماده اولیه اکسیژن استفاده شده است در اینجا اثر نسبت فشار جزئی گاز اکسیژن به فشار جزئی بخار ماده استیل استونات روی برساختار شیمیایی لایه در دمای زیر 100 درجه سانتی گراد بررسی شده است بررسی ساختار بدست آمده از طریق تحلیل طیف فروسرخ با تبدیل فوریه FTIR صورت گرفت همچنین جذب طیف UV-Vis بررسی شده است.کلیدواژه ها
تبدیل فوریه طیف فروسرخ، رسوبگذاری بخار شیمیایی پلاسمایی، طیف UV-Vis، لایه نازک اکسیدرویمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.