مشخصه یابی پوشش های نانوساختار سیستم Ti-Al-C-N ایجاد شده به روش رسوب دهی شیمیایی بخار به کمک پلاسما

  • سال انتشار: 1399
  • محل انتشار: مجله مواد و فناوریهای پیشرفته، دوره: 9، شماره: 1
  • کد COI اختصاصی: JR_JEMI-9-1_003
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 604
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

مهشید رشیدی

دانشگاه علم و صنعت ایران

مرتضی تمیزی فر

دانشگاه علم و صنعت ایران

سید محمدعلی بوترابی

استاد دانشگاه علم و صنعت

چکیده

در این تحقیق، پوشش های سرامیکی کربونیترید تیتانیوم آلومینیوم (TiAlCN) با مقادیر مختلفی از آلومینیوم در دمای °C 350 بر زیرلایه های فولاد ابزار گرم کار H13 با استفاده از روش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما (PACVD) نشانده شدند. مشخصه یابی پوشش های ایجاد شده با استفاده از آزمایش های پراش پرتو ایکس (GIXRD)، میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) و میکروسکوپ الکترونی روبشی(SEM) مجهز به آنالیزگر عنصری طیف سنجی پرتو ایکس (EDS)، طیف سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز (FTIR)، طیف سنجی رامان،میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) و میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) انجام شد. ریزسختی پوشش ها توسط آزمایش ریزسختی سنجی ویکرز مورد بررسی قرار گرفت. نتایج بدست آمده نشان داد که پوشش ها دارای یک نانوساختار شامل نانو دانه های بلورین fcc-(Ti,Al)N و/یا fcc-(Ti,Al)(C,N)، hcp-AlN و یک فاز کربنی آمورف می باشند. افزایش مقدار آلومینیوم موجود در پوشش از حدود 10 تا حدود 42 درصد اتمی منجر به کاهش زبری سطحی پوشش از 49±151 نانومتر به 27±88 نانومتر به دلیل ایجاد هسته بیشتر از AlN شد. بیشترید مقدار میکروسختی مربوط به پوشش با مقدار آلومینیوم کمتر بود که در حدود HV0.01 3840±40 به دلیل مقدار ناخالصی کلر و فاز hcp-AlN کمتر، بدست آمد.

کلیدواژه ها

پوشش, نانوساختار, TiAlCN, PACVD

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.