بررسی تاثیر پارامترهای مختلف بر سینتیک رسوب دهی پوشش SiC اعمال شده به روش CVD بر روی کامپوزیت کربن - کربن
- سال انتشار: 1395
- محل انتشار: فرآیندهای نوین در مهندسی مواد، دوره: 10، شماره: 1
- کد COI اختصاصی: JR_MAIA-10-1_015
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 579
نویسندگان
کارشناسی ارشد، گروه مهندسی مواد، دانشگاه تبریز، تبریز
استادیار، عضو هیئت علمی، گروه مهندسی مواد، دانشگاه تبریز
چکیده
در این پژوهش پس از اعمال پوشش SiC به روش رسوبدهی شیمیایی فاز بخار (CVD) بر روی کامپوزیت کربن-کربن، به بررسی تاثیر پارامترهای مختلف بر سینتیک رسوبدهی پرداخته شده است. بهمنظور بررسی فازی پوشش SiC از آنالیز XRD، ریز ساختار کامپوزیت کربن-کربن قبل و پس از اعمال پوشش SiC از آنالیز SEM و بررسی فرآوردههای جانبی فرآیند از آنالیز EDS استفاده شده است. بر این اساس تاثیر پارامترهای دما، ترکیب گاز ورودی، زمان و موقعیت نمونه در رآکتور بر سرعت رسوبدهی بررسی شد. نتایج نشان میدهد با تغییر پارامترهای رسوبدهی با توجه به تغییر مکانیزم رسوبدهی، سرعت آن تحت تاثیر قرار میگیرد. همچنین تصاویر SEM نشان میدهد اندازه بلورهای SiC و ضخامت پوشش در شرایط بهینه رسوبدهی به ترتیب حدود nm 300 و mμ3 است. در نهایت، تصویر SEM سطح کامپوزیت کربن-کربن قبل و بعد از اعمال پوشش SiC مقایسه شده است.کلیدواژه ها
CVD, کامپوزیت کربن-کربن, پوشش SiC, سینتیکاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.