بهینه سازی پارامترهای صیقل کاری آینه های مسی به روش شیمیایی- مکانیکی

سال انتشار: 1398
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 415

فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

JR_MEASEJT-15-3_009

تاریخ نمایه سازی: 3 شهریور 1398

چکیده مقاله:

آینه های مسی، پرکاربردترین آینه ها در صنایع لیزر به­خصوص لیزرهای با توان بالا است. یکی از روش های تولید این آینه ها فرآیند صیقل کاری شیمیایی- مکانیکی است که پارامتر های آن ارتباط مستقیم با کیفیت سطح آینه دارد. هدف از این تحقیق، بهینه­سازی پارامترهای مهم در فرآیند صیقل کاری آینه مسی می باشد. در این راستا از روش طراحی آزمایشات با رویکرد تاگوچی جهت جمع آوری داده های تجربی استفاده شده است. سپس به­کمک نتایج آنالیز واریانس، و تحلیل نسبت سیگنال به نویز، سطوح بهینه پارامترها تعیین گردید. نتایج حاصل از بهینه سازی نشان­دهنده بهبود ده درصدی نسبت به بهترین حالت آزمایشات طراحی شده، می باشد.

کلیدواژه ها:

صیقل کاری شیمیایی- مکانیکی ، مس ، لیزرهای پرتوان ، طراحی آزمایش ها ، بهینهسازی

نویسندگان

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Marinescu, L. D. , Shero, E. U., and Doi, K. ...
  • Tam, H. Y., Cheng, H .B., and Wang, Y. W. ...
  • Sivanandini, M., Dhami, S. and Pabla, B. Chemical Mechanical Polishing ...
  • Jung, S. H. Chemical Mechanical Polishing of Copper Using Nano ...
  • Bouzid, N. D. and Herold, V. Correlation Between Surface Quality ...
  • Raghava, V. and Kakireddy, R. Effect of Temperature on copper ...
  • Brink-Smeier, E., Riemer, O. and Gessenharter, A. Finishing of Structured ...
  • Takaya, Y., Kishida, H. and Hayashi, T. Chemical Mechanical Polishing ...
  • Lee, H. S., jeong, H. D. and Dornfeld, D. A. ...
  • Pang, J .S., Ansari, M. N. M., Zaroog, Omar S. ...
  • Lee, Hsin-Min and Chen, Tzung-Ming A Study of Polishing Feature ...
  • Roy, R. A Primer on the Taguchi Method , 1th ...
  • نمایش کامل مراجع