طراحی فرآیند ساخت ساده و کم هزینه جهت پیاده سازی آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای بر اساس فناوری MEMS

هدف این مقاله، معرفی یک طراحی فرآیند ساخت ساده به منظور پیاده سازی آرایه ای از میکرو تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای از جنس SiO۲/Al است که مبتنی برپایه فناوری میکرو ماشین کاری حجمی می باشد. به کمک این فرآیند می-توان تیرک های دوماده ائی را در آزمایشگاه های تحقیقاتی با امکانات محدود پیاده سازی نمود. از نتایج حاصل از این مقاله می توان برای ساخت حساسه ها بر پایه تیرک های یک سر آزاد از جنس SiO۲/Al استفاده نمود. بزرگ ترین مشکل فنی در ساخت این نوع از تیرک ها به روش میکرو ماشین کاری حجمی، حفاظت از Al در داخل زدایشگرهای سیلیکون از قبیل KOH، EDP و TMAH است که در این روش از زدایشگر سیلیکون Dual doped TMAH استفاده شده است. این فرآیند با سه عملیات لیتوگرافی یک طرفه و یک عملیات لیتوگرافی دوطرفه توسط دو ماسک کرمی و یک ماسک پلاستیکی شفاف تحقق یافته است. همچنین با استفاده از معلق سازی تیرک ها به روش رهاسازی تر در دمای محیط از پیچیدگی رهاسازی تیرک ها از لایه قربانی اجتناب شده است. با این فرآیند، آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده-ای به طول های µm۵۰، ۱۰۰، ۱۵۰، ۲۰۰، ۲۵۰، ۳۰۰، ۳۵۰ و ۴۰۰ و به عرض های µm۲۰ و ۴۰ باضخامت µm۱ برای SiO۲ و nm۲۰۰ برای Al ساخته شده اند.

کلیدواژه ها:

رهاسازی تر ، MEMS ، تیرک دو ماده ای ، میکرو ماشین کاری حجمی