بررسی اثر هندسه ی الکترودها بر نیروی الکترواستاتیک در تعلیق الکترواستاتیک

سیستمهای تعلیق برای حذف تماس و کاهش اصطکاک مورداستفاده قرار میگیرند. تاکنون روشهای متفاوتی برای تعلیق مورداستفاده قرارگرفته که ازجمله آنها میتوان به تعلیق مغناطیسی و آکوستیکی اشاره کرد. با استفاده از سیستم تعلیق الکترواستاتیکی میتوان اجسام رسانا، نارسانا، نیمه رسانا، غیر فرو مغناطیس و حتی دیالکتریک ها را تعلیق کرد که این یکی از مزایای این روش است. از تعلیق الکترواستاتیک در جابه جایی بدون تماس اجسامی که حساسیت بالایی به تماس داشته و باعث آسیب فیزیکی و یا تجمع الکتریسیته ی ساکن و جذب آلودگی و ذرات میگردد، استفاده میشود. از تعلیق الکترواستاتیکی میتوان در جابه جایی قطعات بسیار ظریف و آسیب پذیر مانند صفحه نمایش کریستال مایع (LED)، هارددیسک، ویفر سیلیکونی و نیز در سیستمهای میکرو الکترومکانیکی (MEMS)، ریز یاتاقانها و ژیروسکوپ خلا استفاده نمود.در این مقاله تحلیلی بر شکل الکترودها برای یافتن حداکثر نیروی الکترواستاتیک ایجادشده بر روی صفحاتی از جنسهای شیشه ی کوارتز، ویفر سیلیکونی و پلکسی گلس با نرم افزار COMSOL Multiphysics 5.4 شبیه سازی شده است.

کلیدواژه ها:

تعلیق ، نیروی الکترواستاتیک ، تعلیق الکترواستاتیک ، جابه جایی بدون تماس ، دیالکتریک