تهیه و مطالعه خواص فیزیکی نیمرسانای اکسیدقلع با ناخالصی های فلوئور و آنتیموان به روش اسپری پایرولیزیز

دراین تحقیق بااستفاده ازروش اسپری پایرولیزیز لایه های نازک نیمرسانای شفاف اکسیدقلع بادوناخالصی همزمان فلوئور f و آنتیموان sb بروی بستر های شیشه ای تهیه شده است دراین نیمرسانا برای افزیاش رسانش ازناخالصی فلوئور و آنتیموان با ظرفیت پنج استفاده شد خواص ساختاری الکتریکی و اپتیکی لایه های نازکFTO:Sb بااستفاده ازاندازه گیری پراش پرتو XRD X اثرهال وطیف سنجی UV-VIS بررسی شد برای این لایه ها رسانایی ازنوع n و تراکم حامل ها ازمرتبه 10 21 برسانتی مترمکعب بدست آمد مقاومت سطحی لایه ها نیز درنسبت مولی Sb/Sn=0/1 کمترین مقاومت را نشان می دهد و درهمین نسبت مولی بیشترین شفافیت اپتیکی لایه ها درناحیه مرئی بطور تقریبی 80%بدست آمد