اندازه گیری ضخامت و ضریب شکست لایه های نازک با استفاده از توزیع شدت درنقش پراش فرنل از پله

  • سال انتشار: 1393
  • محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1393
  • کد COI اختصاصی: IPC93_143
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 399
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

خسرو حسنی

آزمایشگاه پژوهشی اپتیک ۳، دانشکده فیزیک دانشگاه تهران ، انتهای خیابان کارگر شمالی ، تهران

محمدتقی توسلی

آزمایشگاه پژوهشی اپتیک ۳، دانشکده فیزیک دانشگاه تهران ، انتهای خیابان کارگر شمالی ، تهران

مینا غلامپور

آزمایشگاه پژوهشی اپتیک ۳، دانشکده فیزیک دانشگاه تهران ، انتهای خیابان کارگر شمالی ، تهران

چکیده

نور همدوس بازتابی از طرفین یک پله ی فازی با دو جنس متفاوت، به دلیل تغییر ناگهانی ضریب شکست و ارتفاع، پراشیده م یشود. در این مقاله با ثبت نقش پراش فرنل برای دوپله ی 100 و 300 نانومتری منیزیم فلوراید روی شیشه و برازش توزیع شدت نظری به توزیع شدت پراش تجربی، ضریب شکست لایه منیزیم فلوراید و ارتفاع پله بطور همزمان اندازه گیری شده است. نتایج به دست آمده با مقادیر گزارش شده همخوانی داشته و نشان می دهند که پراش سنجی فرنل روشی کم هزینه و در عین حال دقیق برای مشخصه یابی لایه های نازک است.

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.