مطالعه ی ساختاری لایه های نیترید مولیبدن انباشتی برروی سیلیکان
- سال انتشار: 1393
- محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1393
- کد COI اختصاصی: IPC93_108
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 309
نویسندگان
گروه فیزیک دانشگاه آزاداسلامی واحدکرج کرج البرز ایران
گروه فیزیک دانشگاه آزاداسلامی واحدکرج کرج البرز ایران
گروه فیزیک دانشگاه آزاداسلامی واحدکرج کرج البرز ایران
چکیده
در این تحقیق لایه های نیترید مولیبدن با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی DC برروی زیرلایه های سیلیکان انباشت شده اند. با استفاده از آنالیزهای مختلف مانند XRD و AFM تاثیر میزان نیتروژن در مخلوط گاز آرگون- نیتروژن برروی خواص ساختاری و مورفولوژی سطح لایه ها بررسی شده است. نتایج آنالیز XRD بیانگر آنست که با افزایش میزان نیتروژن در مخلوط گاز ساختار لایه از حالت بلوری به آمورف تغییر کرده است. آنالیز AFM نیز نشان می دهد که مورفولوژی سطح لایه ها شدیدا تحت تاثیر میزان گاز نیتروژن قرار گرفته است.کلیدواژه ها
مقالات مرتبط جدید
- بررسی اثرات انتشار امواج لرزه ای در سازههای قاب خمشی دسته شده و هگزاگرید دارای پارامتر سختی یکسان
- شناسایی آزمایشگاهی ترک طولی تراورس بتنی پیش تنیده با استفاده از تست مودال تجربی
- Investigation of Transmission Loss and Absorptioncoefficient of the PU Composite Panels forConstruction Application
- Comprehensive Analysis of the Effect of Polyisobutyl-ene (PIB) Molecular Weight on Damping Properties of Butyl-Based Constrained Layer Damping Systems
- REVIEWING THE OBERST BEAM METHOD AND ITS AP-PLICATION IN CONSTRAINED LAYER DAMPING FOR AUTOMOTIVE NOISE, VIBRATION, AND HARSHNESS (NVH) CONTROL
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.