ساختار مکانیکی نوین آشکارساز زاویه با فناوری میکروماشینکاری توده ای

  • سال انتشار: 1389
  • محل انتشار: هجدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک
  • کد COI اختصاصی: ISME18_422
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1106
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

نیما سیاف

کارشناسی ارشد مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

فرشاد برازنده

استادیار دانشکده مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

محمدرضا رازفر

دانشیار دانشکده مکانیک

چکیده

میکرو حسگر های غیر تماسی اندازه گیری زاویه می تواند زاویه بین قسمت دوار و قسمت ثابت را به صورت یک سیگنال الکتریکی خروجی، متناسب با زاویه بین دو قسمت، آشکار سازی کند. حسگر اندازه گیری زاویه غیر تماسی در این تحقیق بر اساس اصول کارکرد و ساخت حسگر های میکروالکترومکانیکیMEMS خازنی برای آشکارسازی بهره می برند، طراحی و مدلسازی شدهاست. ج هت امکان سنجی ساخت این طرح جدید میکروحسگر، بخش اصلی آن که ساختار متحرک مکانیکی آن می باشد نیز طراحی و پس از چندین مرحله نمونه سازی آزمایشی و اصلاح طرح، در داخل کشور ساخته شده است

کلیدواژه ها

میکروحسگر ، سیستم های میکروالکترومکانیکی MEMS تیر خمشی، نیروی لورنس، میکروماشینکاری توده ای

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.