Ambient Temperature Variation Effect on Thermoelastic Damping Quality Factor in a Capacitive Micro-beam Resonator
محل انتشار: هجدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک
سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 2,495
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISME18_109
تاریخ نمایه سازی: 1 تیر 1389
چکیده مقاله:
This paper deals with effects of ambient temperature and bias DC voltage on thermoelastic Damping (TED) in micro-beam resonators. Equations of coupled thermoelastic case for a capacitive micro-beam resonator have been governed using two dimensional non-Fourier heat conduction model based on continuum theory frame with one relaxation time. Galerkin discretization method and complex-frequency approach have been used for analyzing TED for the first mode of vibration of the micro-beam resonator with both ends clamped and isothermal. By applying two dimensional hyperbolic heat conduction model, the effect of ambient temperature variation on thermoelastic damping has been studied in this paper. As results show, the increment of ambient temperature decreases the quality factor of thermoelastic damping (QTED). The effect of bias DC voltage on QTED for an electrostatically deflected micro-beam has been investigated. The results show that the bias DC voltage decreases the QTED, and its influence is more considerable in the vicinity of pullin voltage.
کلیدواژه ها:
MEMS ، Thermoelastic damping ، Ambienttemperature ، Hyperbolic heat conduction model ، Electrostatic
نویسندگان
Armin Saeedi-vahdat
M.Sc. student, Mech. Eng. Dept., Urmia University, Urmia, Iran
Ghader Rezazadeh
Associate professor, Mech. Eng. Dept., Urmia University, Urmia, Iran
Bahman Farzi
M.Sc. student, Mech. Eng. Dept., Urmia University, Urmia
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :