Transient characteristics of microelectromechanical systems considering squeeze film damping and electrostatic actuation

سال انتشار: 1398
محل انتشار: بیست و چهارمین کنفرانس سالانه بین المللی انجمن مهندسان مکانیک ایران
کد COI اختصاصی: ISME24_672
زبان مقاله: انگلیسی
تعداد مشاهده: 462

نویسندگان

Master of Science, Department of Mechanical Engineering, Ferdowsi University of Mashhad;

Professor, Department of Mechanical Engineering, Ferdowsi University of Mashhad;

چکیده

In this study, the GDQ method is used to evaluate transient characteristics of microelectormechanical systems. The presented model is nonlinear due to the von Karman—type geometric nonlinearity in the Euler—Bernou1li beam hypothesis. Also, the nonlinear Reynolds equation is utilized to model squeeze film damping phenomenon. Numerical results in the presence of squeeze film damping, dynamic distributed applied load, electrostatic actuation, and pull-in instability are obtained and examined with a parametric study. In addition, the accuracy of present method is verified by comprising the results with experimental data and excellent agreement between them are observed. It is found that by decreasing the resistance of fluid pressure, micro-beam will be actuated more conveniently. In particular, it is indicated that the geometry effect of the micro—beam on the pull—in voltage is significant.

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.