Preparation and characterization of PZT thin films deposited by sol-gel method on different substrates
- سال انتشار: 1386
- محل انتشار: دومین کنفرانس نانوساختارها
- کد COI اختصاصی: CNS02_112
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 1207
نویسندگان
Department of electrical engineering, Shiraz University
Department of Materials science & Engineering
Department of electrical engineering
چکیده
Ferroelectric PZT thin films have been extensively investigated because of their excellent piezoelectric, pyroelectric, ferroelectric, and dielectric properties. Sol–gel synthesis and spin-coating are popular routes to the formation of high quality, dense, crack-free thin films. In this work PZT thin films have been prepared by sol-gel method via spin-coating on glass, sapphire, stainless steel, Si, and Pt/Ti/SiO2/Si substrates. The crystallographic and morphological properties of the films have been analyzed by X-ray diffraction, and scanning electron microscopy. The electrical properties of thin films including the permittivity, loss tangent and P-E hysteresis were measured and compared for different substrates. It was concluded that the highly textured PZT provskite phase forms on stainless steel and Pt/Ti/SiO2/Si substrates at moderate annealing temperature.کلیدواژه ها
Thin film; piezoelectric; PZT; sol-gelمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.