روشی نوین در میکرو - نانو ماشین کاری فتوشیمیایی بدون استفاده از شابلون
- سال انتشار: 1388
- محل انتشار: هفدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک
- کد COI اختصاصی: ISME17_662
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2512
نویسندگان
استادیار دانشکده مکانیک دانشگاه صنعتی اصفهان
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک
استادیار دانشکده مکانیک
چکیده
برای ساختن ترانزیستورها و مدارهای مجتمع (IC) و قطعاتی در ابعاد میکرو و نانو از تکنولوژی ماشین کاری شیمیایی دقیق استفاده می شود. در روش ماشین کاری شیمیایی از شابلون و در روش فتوشیمایی از فیلم نگاتیو برای تصویر کردن تصویر طرح برروی سطح قطعه استفاده می شود.کلیدواژه ها
میکرو، نانوماشینکاری، فتوشیمایی، اپتیکمقالات مرتبط جدید
- توسعه مبدل حرارتی داخلی ( IHX ) از طریق تغییر فرآیند ساخت و تولید لوله های گاز کولر در صنعت خودروسازی
- بهبودعملکرد سیکل تبرید تراکمی با تغییر فرآیند ساخت مبدل SLHX از آرایش مماسی به هم مرکز
- بررسی تاثیر لایه میانی روی در اتصال غیر مشابه آلیاژ پایه منیزیم AZ۳۱ و آلومینیوم ۶۰۶۱ به روش جوشکاری اصطکاکی اغتشاشی نقطهای
- بررسی تجربی سوراخکاری کامپوزیتهای پلیمری: مقایسه جوت و شیشه
- سیستم هوشمند پایش وضعیت بلبرینگ با استفاده از طیفنگاره صوتی جهت طبقهبندی و تشخیص خطای بلبرینگ ها
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.