تحلیل ناپایداری استاتیکی و دینامیکی میکرو صفحه خازنی برای کاربرد فشارسنج های قابل تنظیم

  • سال انتشار: 1398
  • محل انتشار: بیست و هفتمین کنفرانس سالانه بین المللی انجمن مهندسان مکانیک ایران
  • کد COI اختصاصی: ISME27_151
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 680
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

ناصر تقی زاده

دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشگاه صنعتی ارومیه، ارومیه

صابر عزیزی

دانشیار، دانشگاه صنعتی ارومیه، ارومیه

هادی عظیم لو

دانشجوی دکتری، دانشگاه ارومیه، ارومیه

چکیده

در این مقاله ابتدا سیستمهای میکروالکترومکانیکی خازنی به صورت خلاصه معرفی میشوند. سپس ناپایداری پولین شرح داده میشود. پس از اشاره به چند مورد از انواع تحریک در سیستمهای میکروالکترومکانیکی، تعدادی از مقالات به عنوان پیشینه پژوهش در رابطه با موضوع پدیده پولین مورد بررسی قرار خواهند گرفت. سپس مدل مورد بررسی در این مقاله، شرح داده شده و پارامترهای مورد استفاده معرفی میگردند. روابط ارتعاش میکرو صفحه دایره ای استخراج شده و پس از بی بعدسازی روابط برای خیز استاتیکی و دینامیکی دو رابطه مجزا بدست می آید. برای خطی سازی معادله خیز استاتیکی از روش خطی سازی گام به گام1 استفاده میشود. برای بدست آوردن ضرایب جرم، فنر، دمپر و نیرو در معادله دیفرانسیل ارتعاش اجباری میکرو صفحه دایره ای، از روش کاهش مرتبه گلرکین استفاده شده است. همچنین برای میکرو صفحه دایره ای مورد مطالعه در این مقاله، با حل تحلیلی معادله خیز دینامیکی، آنالیز پاسخ فرکانسی نیز انجام خواهد گرفت . نمودارهای خیز-ولتاژ و فرکانس-ولتاژ با استفاده از نرم افزار کامسول نیز استخراج خواهند شد.

کلیدواژه ها

سیستمهای میکروالکترومکانیکی خازنی، میکرو صفحه دایره ای، ناپایداری پولین، پاسخ فرکانسی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.