تاثیر پلاسما دهی اکسیژن بر ویژگی های ساختاری، مورفولوژیکی و اپتیکی لایه های نازک اکسید نیکل

در این تحقیق، لایه های نازک نیکل در شرایط یکسان با روش کندوپاش مگنترونی DC بر زیرلایه های کوارتز لایه نشانی شد و سپس لایه های تهیه شده تحت اکسیژن دهی پلاسمایی در زمان هایمختلف قرارگرفت. در نهایت درکوره حرارتی در دمای ثابت 600°C بازپخت شد. تاثیر اکسیژن دهیپلاسمایی بر ساختارکریستالی، مورفولوژی سطح و طیف عبوری از نمونه ها به وسیله آنالیزهای پراش پرتوایکس (XRD) میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و اسپکتروفتومتری بررسی شدند. نتایج بیانگر آن است که ساختار کریستالی و مورفولوژی سطح به شدت تحت تاثیر زمان اکسیژن دهی پلاسمایی است. همچنین با افزایش زمان اکسیژن دهی پلاسمایی، میزان عبور نورازلایه ها نیز کاهش یافته است.

کلیدواژه ها:

لایه های نازک نیکل ، روش کندوپاش مگنترونی ، پلاسمادهی اکسیژن ، بازپخت حرارتی