لایه گذاری فیلم نازک AIN بر زیرلایه (Si(111 به عنوان گیت دی الکتریک ترانزیستورهای اثرمیدانی

  • سال انتشار: 1397
  • محل انتشار: دومین کنگره ملی توسعه پژوهش های نوین در مهندسی برق کامپیوتر
  • کد COI اختصاصی: ECCIRD02_021
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 412
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

جواد بهادررضاآبادی

گروه برق موسسه آموزش عالی وحدت، تربت جام، ایران

محمد گرجی

مرکزتحقیقات لیزر و اپتیک دانشگاه جامع امام حسین (ع)، تهران، ایران

وحید بهادررضاآبادی

گروه برق موسسه آموزش عالی وحدت، تربت جام، ایران

چکیده

فیلمی از نیترید آلومینیوم را در دمای محیط و در شرایط فشار بسیار پایین بر زیرلایه ی سیلیکون (111) رشد داده و این فیلم در دماهای مختلف باز پختگردید. ساختار این فیلم نازک با استفاده از تکنیک های مختلف از جمله AES و XRD بررسی شد. بررسی ساختار پیوندی توده فیلم AIN و زیرلایه مشترک نشان میدهد که ساختار موجود آمورف بوده و در کنار ویژگی هایی نظیر ثابت دی الکتریک بالا و پایداری گرمایی، می تواند در کاهش مشکلات گیتاکسید سیلیکون در نانو ترانزیستورها مناسب باشد.

کلیدواژه ها

ترانزیستور های اثر میدانی، تکنیک های AES و XRD، نانو ترانزیستورها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.