فیلمان کاتد گرم نوع MEMS برای گیج خلاء یونی
- سال انتشار: 1397
- محل انتشار: پنجمین کنفرانس بین المللی پژوهش های کابردی در مهندسی برق مکانیک و مکاترونیک
- کد COI اختصاصی: ELEMECHCONF05_266
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 441
نویسندگان
استادیار گروه الکترونیک، دانشکده فنی شهید قاضی طباطبایی ارومیه، دانشگاه فنی و حرفه ای کشور، ایران
چکیده
گیج خلاء یونی یکی از روش های موثر در اندازه گیری خلاء است که می تواند خلاء تا 10^9- تور را اندازه بگیرد. نوع MEMS این نوع گیج خلاء یونی یکی از موضوعات تحقیقاتی می باشد. ایجاد فیلمان کاتد داغ در نوع MEMS موضوع تحقیق این مقاله است. در این مقاله انواع روش های ایجاد کاتد گرم برای استفاده در گیج خلاء یونی بررسی شده و نوع مطلوب تر به عنوان طرح پیشنهادی انتخاب می شود. طرح کاتد طوری است که دما در طول آن یکنواخت بوده و با تغییر فشار خلاء تقریبا ثابت می ماند. توان مصرف کاتد 42mw است که از نوع متعارف 71 برابر کمتر است. در این مقاله شبیه سازی COMSOL برای جریان الکتریکی, دمای الکتریکی و جابجایی مکانیکی برای انواع روش های پیاده سازی کاتد انجام گرفته است.کلیدواژه ها
فیلمان کاتد داغ MEMS، سنسور خلاء نوع MEMS، گیج یونی کاتد گرم, سنسور فشارخلاء MEMSمقالات مرتبط جدید
- بررسی به کارگیری سیستم ذخیره سازی انرژی با استفاده از منابع انرژی تجدیدپذیر
- اقدامات لازم برای حفاظت از محیط زیست دریایی
- ارائه طرح مبتنی بر رایانش ابری جهت ارتقاء بهره وری صنایع خودروسازی (مطالعه موردی: مدیران خودرو)
- مروری بر تکنولوژی ماکرویو برای خردایش سنگ های کمیاب
- کاربرد و بکارگیری تکنولوژی های اینترنت اشیا ، یادگیری ماشین و پردازش تصویر در امنیت و کنترل خودرو
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.