اثر دز کاشت هیدروژن بر روی خواص ساختاری و نیز الکتریکی تک کریستالهای سیلیکونی

  • سال انتشار: 1388
  • محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1388
  • کد COI اختصاصی: IPC88_396
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1165
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

مجید مجتهدزاده لاریجانی

مرکز تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی، سازمان انرژی اتمی، کرج

زهرا پیراسته

مرکز تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی، سازمان انرژی اتمی، کرج; گروه فیزی

محمدرضا خانلری

گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه بین المللی امام خمینی قزوین

چکیده

در این تحقیق ، اثرکاشت یون هیدروژن با انرژی 70keV بر خواص میکرو-نانوساختاری(400) p-Si بررسی شده است. برای این امر آنالیزهای پراش اشعه X (XRD)، میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) به منظور مطالعه بر روی ساختارنمونه های آسیب دیده در اثر کاشت انجام شدند. مقاومت الکتریکی صفحه ای نمونه های کاشته شده نیز توسط دستگاه چهار پروبی نقطه ای، اندازه گیری و مورد مطالعه قرار گرفتند. برطبق نتایج XRD، پهنای نصف ارتفاع پیک(400) Si با دزهای مختلف،تغییر کرد، که این تغییرات به تنش و کرنش ایجاد شده بدلیل کاشت، مربوط بود. نتایج AFM تشکیل تاول ها و ترک های حاصل از شکافت آنهارا بواسطه تغییرات دز کاشت نمایش داد. همچنین رابطه تنگی را بین زبری حاصل از کاشت و دز بکار رفته نشان داد. نتایج آزمایش چهار پروبی نیزمؤید همان نتایج آنالیز AFM بوده است.

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.