تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشه ای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی خواص الکتریکی آنها
- سال انتشار: 1387
- محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1387
- کد COI اختصاصی: IPC87_276
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1064
نویسندگان
چکیده
در این کار تجربی لایه های نازکی از تیتانیوم در ابعاد کوچک با استفاده از دستگاه کندوپاش مگنترونی، تحت شرایط متفاوت بر روی زیر لایه های شیشه ای تهیه و تأثیر چهار پارامتر مهم دمای زیرلایه، فشار گاز کاری (آرگن)، انرژی یون های تولید شده در پلاسما و فشار پایه بر روی خواص الکتریکی این لایه ها مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج حاصله نشان می دهد که مقاومت الکتریکی لایه های نازک تیتانیومی با افزایش دمای زیرلایه کاهش یافته ، با افزایش فشار پایه و فشار گاز آرگن افزایش پیدا می کند. افزایش انرژی یون های فرودی نیز موجب کاهش مقاومت لایه ها می گردد .ضمناً علل تغییرات مشاهده شده درمقاومت در اثر افزایش دمای زیرلایه، فشار گاز آرگن، انرژی یون های فرودی و فشار پایه مورد بحث قرار گرفته است.کلیدواژه ها
مقالات مرتبط جدید
- Analytical determination of flexural rigidity of thin-walled pultruded composite I-beams
- Matrix-Dominated Damage Process in CFRP Composite Laminates underFlexural Loading Condition
- Indentation Size Scale Effect on Mechanical Properties of Cold SprayCoating
- Determination of Forming Limit Diagrams for Tailor Welded Blanks
- Control of dynamic building façade: design, analysis and experiments
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.