تشکیل نازک ترین لایه های ممکن بر زیر لایه ی Si(111)

  • سال انتشار: 1387
  • محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1387
  • کد COI اختصاصی: IPC87_271
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1134
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

علی بهاری

فاطمه لاری دارابی

چکیده

هر چند ضخامت گیت اکسیدی که امروزه در نانو ترانزیستورهای اثر میدانی ماسفت بکار می رود حدود یک نانومتر است ولی نیاز صنعت همان طوری که در قانون مور پیش بینی شده است کم تر از یک نانومتر می باشد. به همین دلیل، یک سری آزمایشاتی را به منظور رشد نازک ترین اکسید خالص انجام داده ایم که توانستیم حدود 7 آنگستروم اکسیدسیلیکون تمیز را تحت شرایط فراخلا بر زیرلایه ی Si(III) رشد دهیم. آنگاه ساختار پیوندهای شیمیایی آن را با تکنیک فوتو گسیلی XPS مطالعه کردیم.

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.