Simulation of electrostatic micro-Tweezers by Using Shaped IDT Finger Comb Drive

  • سال انتشار: 1397
  • محل انتشار: سومین کنفرانس بین المللی مهندسی برق
  • کد COI اختصاصی: ICELE03_040
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 477
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

R Hadijaghaie Vafaie

Assistant Professor, Department of Electrical Engineering, University of Bonab, Bonab, Iran

چکیده

Finite element method (FEM) analysis is employed for simulation of electrostatic actuation mechanism formicro-tweezers applications. The coupled multiphysical equations including electrostatic, solid mechanic and arbitraryLagrangian–Eulerian (ALE) are solved for the proposed electrostatic micro-tweezer. It is shown that using shapedinterdigitated (IDT) finger comb drive has stronger electrostatic force for micro-gripping effect. The electric field andmechanical displacement study are investigated here. Based on the results, the teeth shaped IDT fingers are of interestfor actuation mechanisms such as gripping effect.

کلیدواژه ها

micro-tweezers, interdigitated electrodes, FEM, electrostatic force

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.