شبیه سازی اثرات نوع آلایش و چگالی جریان در رشد سیلیکان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود

  • سال انتشار: 1387
  • محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 8، شماره: 4
  • کد COI اختصاصی: JR_PSI-8-4_007
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 386
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

سکینه مینایی فرد

گروه فیزیک، دانشگاه الزهرا(س)

رضا ثابت داریانی

گروه فیزیک، دانشگاه الزهرا(س)

چکیده

هدف از این مقاله وارد کردن اصلاحاتی به مدل انبوهش پخش محدود می باشد که بتواند اثرات نوع آلایش و چگالی جریان را در شکل ساختارهای به دست آمده طی رشد سیلیکان متخلخل شبیه سازی کند. برای تاثیر نوع آلایش، ضریب چسبندگی و برای تاثیر چگالی جریان، پارامتر میدان متوسط را به مدل انبوهش پخش محدود اعمال کردیم. نتایج شبیه سازی نشان می دهند که پارامتر ضریب چسبندگی در کنترل ضخامت خلل موثر است در حالی که پارامتر میدان متوسط ویژگی درختی یا میله ای بودن خلل را کنترل می کند. نتایج آن بر روی شبیه سازی رشد سیلیکان متخلخل، نشان داد اصلاحات اعمال شده با تاثیر این دو پارامتر در شکل ساختارهای شبیه سازی شده با نتایج نمونه های تجربی به دست آمده توافق و سازگاری دارند.

کلیدواژه ها

سیلیکان متخلخل، انبوهش پخش محدود، شبیه سازی، ضریب چسبندگی، میدان متوسط

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.