طراحی و ساخت ساختار مکانیکی نوین برای میکروحسگر اندازه گیری زاویه میکروالکترومکانیکی(MEMS) با تکنولوژی میکروماشینکاری

  • سال انتشار: 1388
  • محل انتشار: دهمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید
  • کد COI اختصاصی: ICME10_379
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1456
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

نیما سیاف

کارشناس ارشد مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

فرشاد برازنده

استادیار، دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

محمدرضا رازفر

استادیار، دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

چکیده

میکرو حسگر های غیرتماسی اندازه گیری زاویه با اصول مختلفی ساخته شده اند. حسگر های میکروماشینکاری شده که در ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی MEMS مورد استفاده قرار می گیرد، دارای دقت بالاتر، سرمایه گذاری اولیه پایینتر و تکنولوژی ساخت نسبتا ساده تری هستند. بر همین اساس طراحی و ساخت میکروحسگر بر اساس تیرهای پیچشی برای اولین بار با الهام از ساختار مکانیکی مورد استفاده در حسگر های شتاب، با تیر های خمشی مبنای این تحقیق قرار گرفت. ساختار متحرک حسگر اندازه گیری زاویه که در این تحقیق طراحی و مدلسازی شده است، اولینساختار میکروماشینکاری شده سیلیکنی در داخل کشور می باشد. ساختار میکرومکانیکی سیلیکنی این حسگر با برطرف کردن مشکلات اجرایی از قبیل زدایش زیرین پس از چند مرحله نمونه سازی و اصلاح طرح با موفقیت ساخته شد.

کلیدواژه ها

میکرو حسگر، میکروماشینکاری سیلیکن، سیستم های میکروالکترومکانیکی MEMS ، ساختار متحرک، زدایش زیرین

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.