Nano zone drift prediction for nano scale manufacturing with nano robots

سال انتشار: 1388
محل انتشار: دهمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید
کد COI اختصاصی: ICME10_174
زبان مقاله: انگلیسی
تعداد مشاهده: 1874

نویسندگان

Ph.D. Student, Faculty of Mechanical Engineering, Iran University of Science and Technology

Professor, Faculty ofMechanical Engineering, Iran University of Science and Technology

چکیده

In this paper, drift is described as remained error after hysteresis and creep compensation and could seriously affect the SPM's performance. However thermal drift is introduced as the major part of total drift in the literature, total drift has several origins such as temperature, heat generation in system components, humidity existence and chemical properties, and should be explained with an acceptable model. This paper is organized to solve this problem for nanoscale parts. Using this paper, a comprehensive model could be introduced that is effective, simple and mathematically traceable. Final conclusion shows that this paper is very useful for drift prediction.

کلیدواژه ها

Nano, drift prediction, nano manufacturing, nanorobot, Scanning Probe Microscope

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.