Transfer function analysis for drift compensation in nanomanipulation inverse control

  • سال انتشار: 1388
  • محل انتشار: دهمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید
  • کد COI اختصاصی: ICME10_173
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 1412
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

S Sadeghzadeh

Ph.D. Student, Faculty of Mechanical Engineering, Iran University of Science and Technology

M.H Korayem

Professor, Faculty ofMechanical Engineering, Iran University of Science and Technology

چکیده

This paper addresses a new approach for complete driftmodeling and compensation on the Scanning Probe Microscopes (SPMs). Drift is described as remained error after hysteresis and creep compensation and could seriously affect the SPM's performance. The comprehensive model introduced here is effective, simple and mathematically traceable.Although an analytical relation is introduced for heat generation in piezotubes, for piezo scanners, micro cantilever and substrate as micro components, the current relations are used. Transfer function analysis is an effective schematical approach for drift showing.Comparing experimental results show that in both modes this model is effective and introduces a new approach for velocity-independent drift modeling.

کلیدواژه ها

Scanning Probe Microscope, Drift, Nano manipulation, Transfer function analysis

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.